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发布时间:2020-06-18 13:34:00 作者:中原海
半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。利用它的电气特性可以应用于直流电压稳定,电路保护,充电电压指示和弛张振荡电路等。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯***已成功打开***。乙烯氧化物稀释到12%时与碳氟化物-12,或者是10~20%的乙烯氧化物与二氧化碳一起混合通常用于消毒。
电子气体主要包括:***、乙***、乙***、***、硒化氢、四***、四氟化碳、***化三氢、***、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、***、六***、六氟化钨、六氟化硫、***、磷烷、***、***、***气、氨气、电子级***等.
其中六氟化硫、电子级***、***、磷烷使用较多。
特种气体可能存在窒息性、腐蚀性、毒性、******性等危险,其危害性被不同国家区域和不同的工业组织进行了详细的危险等级分类。
对于一个大规模生产的电子厂,其储存和使用的特种气体数量之多,可以毫不夸张的被视为拥有“大规模杀伤性”***库。
任何设计、施工、日常运作中存在的安全隐患都会对工厂、人员和环境带来巨大的灾难,如何保证特种气体的安全储存和使用是每一个生产和使用企业越来越重视的问题。 高纯氙气 工业***体
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