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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；若一系统中所包含的基本单元（可以是原子、分子、离子、电子或其他粒子）数与0。高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。    

           近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开***。此时的液态氦气能过扩散穿过许多常用的实验室材料，例如玻璃、橡胶、PVC等。

电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.

其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。

1.六氟化硫新气或六氟化硫再生气体中本身含有水分

在生产的过程当中混入的水分是六氟化硫新气中水分的主要来源，因为六氟化硫在合成之后，需要经过一系列的工艺：热解、水洗和碱洗以及干燥吸附等，复杂的生产环节也导致遗留了少量的水分。六氟化硫再生气体中的水分主要是再生过程中过滤器工作不正常或吸附剂更换不及时造成的，向设备进行充气抑或是的时候，水分就会进入设备的内部。此外六氟化硫气瓶在长时间存放的过程当中，倘若气瓶的密封不好的话，那么大气当中的水分便会直接向内进行渗透，从而使得六氟化硫气体当中的含水量增加。在离子室里存在着正电极和负电极，就可以产生电场，当被测的气体在紫外灯的照射下的时候，就会被离子化，然后形成正离子和负离子，这个时候在电极之间就可以产生电流，接着通过放大输出信号。

2.六氟化硫设备在组装维修检查和充过程当中所混入的水分

在组装以及维修检查高压电器设备的时候，也许会把空气当中所包含的水分带入设备的内部中。即使设备在组装完毕之后仍需用高纯氮气冲洗以及抽真空干燥处理，但是，附着在设备的内壁上抑或是灭弧室元件以及拉杆等部件的水分也不会被全部排除干净。如果充管道的保存方式不当，对于管道的冲洗不完全的话，在进行充的时候也会造成水分进入到设备的内部。即使设备在组装完毕之后仍需用高纯氮气冲洗以及抽真空干燥处理，但是，附着在设备的内壁上抑或是灭弧室元件以及拉杆等部件的水分也不会被全部排除干净。

3.绝缘材料以及设备当中的吸附剂其本身含有水分

环氧树脂浇注品时六氟化硫电气设备当中的固体绝缘的主要的材料，其含水量通常在0.1%～0.5%这个范围中，这些在固体绝缘材料中的水分会伴随着时间的流逝而慢慢释放掉。因为吸附剂饱和失效，平衡吸附量缺乏，对于增多的水分便没有办法再进行吸收，这便造成了设备当中六氟化硫气体含水量的增多。六氟化硫新气或六氟化硫再生气体中本身含有水分在生产的过程当中混入的水分是六氟化硫新气中水分的主要来源，因为六氟化硫在合成之后，需要经过一系列的工艺：热解、水洗和碱洗以及干燥吸附等，复杂的生产环节也导致遗留了少量的水分。

4.大气中的水分经由六氟化硫电气设备密封薄弱环节而渗透到设备的内部

 氦气是惰性气体，无毒，性质也不活泼，对人体无害。但是大量吸入会导致窒息甚至！氦气毕竟不是氧气，过多吸入氦气会导致人体缺氧，轻者会感觉疲惫，重者可能会顿时眼前发黑直接窒息昏迷！更有甚者不是通过气球来吸入氦气，如果是由高压气瓶中直接吸入高纯氦气，那么其高流速就会严重地破坏肺部组织，直接对人体造成伤害！对于氦-氧呼吸混合气，由于声速较高，声音频率改变大，存在深水通讯问题。

 氦气高浓度时，使氧分降低而发生窒息。氦浓度达到50%以上引起严状；呼吸加速，注意力   不集中，疲倦乏力，恶心、呕吐。75%以上时可在数分钟内。

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无论是计量用的标准气体还是电子混合气体，准确性是一要素。如何确保标准气体准确性高、更稳定，是我们迫切需要关注和解决的问题。

 因为气瓶厂只能依赖于标气公司做配气、分析等效果考察工作，或许Cl2 10 x 10-6-N2 处理接果不错，而Cl2 5 ×10 6_N2 就不满意了，所以，此项工作类似于杂交水稻的培育，需要长期不间断的考察研究，好是多部门的联合攻关作战。若没有国家的资金支持，目前的背景下，完成此项意义重大、经济效益不突出的研究，真的有存在的可能性？例如在体内某些酶的催化作用下，所摄取食物中的葡萄糖与氧气进行一系列复杂的、缓和的氧化反应。可见气瓶的稳定性问题将长期困扰中国气体的进步与发展。