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发布时间:2022-02-03 18:33:00 作者:中原海
半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气,高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延,掺杂和蚀刻工艺;高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合,可分为电子级,LSI(大规模集成电路)级,VLSI(超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路)级。从高压氙气的电弧特性可知,其属于对流稳定型电弧,如果氙灯横点时,电弧会向上弯曲,电弧形状会变化,光电参数也会变化。
近几年来,智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展,电子气体市场需求量明显增长,电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解,我国在国产化方面取得可喜进展:国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局,高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束,高纯已成功打开。大气中的水分经由六氟化硫电气设备密封薄弱环节而渗透到设备的内部。
电子气体主要包括:、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟***、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
颜色或其他标记以及瓶阀出口螺纹与所装气体的规定不相符的气瓶,除不予充气外,还应查明原因,报告上级主管部门或当地劳动部门,进行处理。
无剩余压力的气瓶,充装前应将瓶阀卸下,进行内部检查。经确认瓶内无异物,新投入使用或经内部检验后次充气的气瓶,充气前都应按规定先置换去瓶内的空气,并经分析合格后方可充气。
检验期限已过的气瓶、外观检查发现有重大缺陷或对内部状况有怀疑的气瓶,应先送检验单位,按规定进行技术检验与评定。
氦气是惰性气体,无毒,性质也不活泼,对人体无害。但是大量吸入会导致窒息甚至!氦气毕竟不是氧气,过多吸入氦气会导致人体缺氧,轻者会感觉疲惫,重者可能会顿时眼前发黑直接窒息昏迷!更有甚者不是通过气球来吸入氦气,如果是由高压气瓶中直接吸入高纯氦气,那么其高流速就会严重地破坏肺部组织,直接对人体造成伤害!18K时,气体氦气的性质同一般液体一样,加以适当的压力就转化为液态氦气了。
氦气高浓度时,使氧分降低而发生窒息。氦浓度达到50%以上引起严状;呼吸加速,注意力 不集中,疲倦乏力,恶心、呕吐。75%以上时可在数分钟内。
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